在经历0403花莲强震之后,半导体龙头台积电发出声明指出,其关键极紫外曝光设备 (EUV) 「安全无虞」,而且在4月3日大地震的10小时之后,已经将产能恢复到了70%-80%。然而,地震及其余震并没有让生产设施受损。
根据市场消息,地震中断和造成的损失将使台积电损失约 6,200 万美元(约人民币4.5亿元)。其中,虽然 EUV 机器没有损坏,但工厂的横梁、柱子、墙壁和管道在地震中遭到损坏。但对此,台积电方面并没有确认。
消息指出,花莲强震之后,台积电在 4 月 5 日发出的最新声明指出,除了位于震幅较大地区的部分生产线,需要较长的时间调整校正以回复自动化生产外,感谢公司同仁及供应商伙伴的共同努力,台湾晶圆厂内的设备已大致复原。
台积电还表示,全年业绩展望以美元计仍将维持一月法说会展望,全年营收预计成长低至中段二十位数 (low-to-mid twenties) 百分比。对此,熟悉该公司营运的市场人士表示,台积电位于台南量产 N3 制程的晶圆厂和位于新竹的另一家晶圆厂,在地震当下受到了相关的损害。
在台南量产 N3 制程的晶圆厂的部分出现横梁断裂,色谱管损坏、研发实验室墙壁破裂的情况,而新竹晶圆厂的部分,则是有晶圆受损、管道破裂的情况。但尽管如此,最重要的机器,包括 EUV 设备等并没有传出损坏的消息。
事实上,建造现代半导体工厂时采取的预防措施似乎已基本发挥作用。台积电和其他在 1999 年遭受地震严重影响的产业都已经采用了抗震管理措施。因此,相关的半导体生产建筑物都是为了抵御台湾地区常见的地震而建造的。此外,最昂贵和最敏感的机械则是以特殊的方式安装,目的在进一步使其免受冲击、颠簸和振动的影响。包括美光在台中的存储器工厂,琪就是采取了相类似针对机器的额外预防措施。
虽然先进的现代晶圆厂可能承受住了地震,且受到的严重损害相对较小。但重要的是,有许多支援业务和营运可能面临更严重的破坏。因为晶圆厂还是需要持续可靠的电力以及精炼空气、水和化学品来保持平稳生产运作。目前,在台积电产能已经大致辉服的情况之下,这部分的供应与支援,当前应该也维持正常当中。